據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻設備概念龍頭公司有以上幾家：
1、張江高科（600895）：
光刻設備龍頭股，近7個交易日，張江高科下跌2.01%，3月6日該股最高價為27.7元，總市值為428.52億元，換手率0.53%，振幅漲1.36%。
張江高科在近30日股價上漲6.59%，最高價為28.88元，最低價為25.41元。當前市值為428.52億元，2025年股價上漲1.83%。
2、蘇大維格（300331）：
光刻設備龍頭股，3月6日消息，蘇大維格資金凈流出-819.67萬元，超大單資金凈流入190.29萬元，最新報21.920元，換手率0.67%，成交總金額2954.58萬元。
公司的核心能力和核心競爭力是掌握了微納光刻、納米壓印和衍射光學的底層技術，是行業內少數擁有微納結構制造完整產業鏈的企業之一，即能夠設計開發應用于不同領域光刻機包括納米光刻、3D光刻、激光直寫光刻機等。公司光子芯片、光通信器件、光芯片等領域用光刻設備已經開始交付客戶。
回顧近30個交易日，蘇大維格股價上漲6.06%，最高價為23.18元，當前市值為56.92億元。
賽微電子（300456）：賽微電子（300456）3日內股價3天上漲，上漲6.69%，最新報18.91元，2025年來上漲9.53%。
京華激光（603607）：京華激光近3日股價有3天上漲，上漲2.13%，2025年股價上漲6.44%，市值為31.17億元。
精測電子（300567）：精測電子在近3個交易日中有2天下跌，期間整體下跌0.36%，最高價為66.36元，最低價為63.12元。2025年股價下跌-0.37%。
晶方科技（603005）：晶方科技近3日股價有3天上漲，上漲2.6%，2025年股價上漲19.19%，市值為233.93億元。
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