芯源微（688037）：龍頭
12月25日消息，芯源微最新報149.140元，跌0.84%。成交量469.82萬手，總市值為300.71億元。
公司是國內唯一可提供量產型前道涂膠顯影機的廠商，該設備與光刻機配合進行作業，是國產替代關鍵環節。
王子新材（002735）：龍頭
12月25日開盤消息，王子新材最新報16.980元，漲0.59%。成交量4862.81萬手，總市值為64.86億元。
東方嘉盛（002889）：龍頭
12月24日開盤消息，東方嘉盛3日內股價下跌0.12%，最新報16.520元，成交額1.43億元。
光刻機概念股有哪些？
安泰科技（000969）：2020年6月3日公司在互動平臺稱，公司的鎢合金產品用于某型號光刻機設備，是該型號光刻機的關鍵核心部件，尚屬于市場開發階段。
中旗新材（001212）：2025年6月3日投資者關系活動記錄表顯示，公司的產品主要定位于未來的先進封裝技術，包括2.5D、3D封裝，以及面向人工智能應用的芯片制造所需的特殊設備的設計、開發與制造。目前，星空科技已初步形成了光刻機系列、納米壓印系列、芯片鍵合系列、硅片鍵合系列以及光學檢測系列等多個產品體系。
聯合精密（001268）：公司在建工程包括年產3萬噸空調壓宿機零部件、汽車零部件、機器人零部件、光刻機零部件鑄件項目。
國機精工（002046）：公司研制的金剛石光學窗口片可用于光刻機高功率二氧化碳激光器窗口。
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