據南方財富網概念查詢工具數據顯示，相關半導體設備零部件概念上市公司有：
江豐電子300666：
2月26日消息，江豐電子2月26日主力凈流入949.47萬元，超大單凈流入1636.64萬元，大單凈流出687.16萬元，散戶凈流出1.24億元。
盛美上海688082：
7月18日消息，盛美上海主力資金凈流出626.16萬元，超大單資金凈流入36萬元，散戶資金凈流出26.44萬元。
華亞智能003043：
公司的半導體設備零部件包括用于半導體設備領域的刻蝕氣體輸送中心結構件、氣體輸送裝置結構件、檢測設備成像檢測平臺結構件等結構件產品。
7月5日該股主力資金凈流出36.36萬元，超大單資金凈流出180.8萬元，大單資金凈流入144.44萬元，中單資金凈流入70.71萬元，散戶資金凈流出34.36萬元。
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