據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體清洗設備板塊龍頭有：
藍英裝備（300293）：龍頭股，
3月6日消息，藍英裝備資金凈流入8463.32萬元，超大單資金凈流入5812.92萬元，換手率9.05%，成交金額6.95億元。
藍英裝備2023年報顯示，藍英裝備的凈利潤-2098.11萬，同比上年增長率為61.5%。
富樂德（301297）：龍頭股，
7月18日消息，富樂德主力資金凈流入3131.72萬元，超大單資金凈流入1247.32萬元，散戶資金凈流出2281.15萬元。
公司2023年凈利潤8924.94萬，同比上年增長率為1.33%。
北方華創（002371）：龍頭股，
3月6日消息，資金凈流入2.68億元，超大單凈流入1.51億元，成交金額27.2億元。
2023年報顯示，北方華創凈利潤38.99億，毛利率41.1%，每股收益7.36元。
至純科技（603690）：龍頭股，
資金流向數據方面，3月6日主力資金凈流流出685.72萬元，超大單資金凈流入1242.96萬元，大單資金凈流出1928.68萬元，散戶資金凈流入268.38萬元。
公司是國內半導體清洗設備與高純工藝系統的龍頭企業，其系統集成及支持設備業務量接近系統集成業務總量的40%，有效替代并改變了原先由國外氣體公司壟斷的供給格局。
2023年，至純科技公司凈利潤3.77億，近五年復合增長為36.01%；毛利率33.81%，每股收益1.06元。
芯源微（688037）：龍頭股，
7月5日資金凈流出3121.63萬元，超大單凈流出2220.08萬元。
2023年，芯源微公司實現凈利潤2.51億，同比增長25.21%。
盛美上海（688082）：龍頭股，
7月18日消息，盛美上海7月18日主力凈流出626.16萬元，超大單凈流入36萬元，大單凈流出662.16萬元，散戶凈流出26.44萬元。
公司專注于半導體清洗設備的研發，公司于濕法清洗領域獲得了突破，同時在電鍍、拋銅設備上嶄露頭角。憑借先進的自研產品，公司與大量國際知名企業建立了密切的合作關系，華虹集團、長江存儲、SK海力士、長鑫存儲等企業都是公司的長期伙伴，2021年來與多位海外新客戶取得訂單。
2023年，盛美上海公司實現凈利潤9.11億，同比增長36.21%，近五年復合增長為61.19%；毛利率51.99%。
半導體清洗設備板塊股票其他的還有：
飛鹿股份300665：近7日股價下跌1.57%，2025年股價上漲11.43%。
萬業企業600641：近7日股價上漲1.39%，2025年股價下跌-1.81%。
至正股份603991：近7個交易日，至正股份下跌12.53%，最高價為66.32元，總市值下跌了5.65億元，2025年來上漲13.72%。
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