概念查詢工具股票工具數據整理，截至2025年3月28日，集成電路設備上市公司成交量排行榜情況如下（數據僅供參考）：
第1名、至純科技：成交量8380.25萬手。3月28日消息，至純科技開盤報31.24元，截至15點，該股漲10%，報31.240元。3日內股價上漲17.35%，換手率21.88%，成交量8380.25萬手。
第2名、大族激光：成交量1869.37萬手。3月28日消息，大族激光15點報28.510元，跌0.45%，總市值為299.98億元，換手率1.91%，10日內股價下跌0.46%。
第3名、眾合科技：成交量1814.74萬手。眾合科技（000925）10日內股價下跌12.92%，最新報8.130元/股，跌0.85%，今年來漲幅下跌-6.64%。
第4名、長電科技：成交量1518.58萬手。3月28日長電科技消息，該股15點報35.900元，跌0.42%，換手率0.85%，成交量1518.58萬手，今年來下跌-13.82%。
第5名、萬業企業：成交量1291.93萬手。3月28日消息，萬業企業5日內股價下跌4.03%，最新報14.880元，成交量1291.93萬手，總市值為138.48億元。
第6名、宇晶股份：成交量1142.99萬手。
第7名、長川科技：成交量1116.85萬手。3月28日收盤消息，長川科技5日內股價下跌5.13%，截至15點，該股報41.520元，跌1.59%，總市值為261.77億元。
第8名、拓荊科技：成交量881.56萬手。3月28日收盤消息，拓荊科技開盤報價170.9元，收盤于157.290元。7日內股價下跌7.19%，總市值為439.99億元。
第9名、中微公司：成交量868.05萬手。3月28日消息，中微公司截至15點，該股跌2.84%，報184.310元；5日內股價下跌3.68%，市值為1147.08億元。
第10名、捷佳偉創：成交量814.14萬手。當前市值221.39億。3月28日消息，捷佳偉創開盤報63.61元，截至下午三點收盤，該股跌0.02%報63.670元。
第11名、晶盛機電：成交量753.8萬手。3月28日下午三點收盤，晶盛機電(300316)今年來上漲2.15%，最新股價報32.600元，當日最高價為33.45元，最低達32.6元，換手率0.61%，成交額2.48億元。
第12名、北方華創：成交量713.92萬手。3月28日收盤消息，北方華創跌3.37%，最新報415.900元，成交金額29.83億元，換手率1.34%，振幅跌3.37%。
第13名、芯源微：成交量567.88萬手。3月28日消息，芯源微（688037）收盤跌1.08%，報96.860元/股，成交量567.88萬手，換手率2.83%，振幅跌1.08%。
第14名、弘元綠能：成交量549.84萬手。3月28日15點收盤，弘元綠能(603185)今年來下跌-6.91%，最新股價報15.200元，當日最高價為15.64元，最低達15.19元，換手率0.81%，成交額8444.68萬元。
第15名、華興源創：成交量433.14萬手。3月28日收盤消息，華興源創5日內股價下跌3.78%，截至下午三點收盤，該股報30.460元，跌3.76%，總市值為135.66億元。
第16名、勁拓股份：成交量381.89萬手。3月28日收盤最新消息，勁拓股份昨收16.5元，截至15時，該股跌1.94%報16.180元。
第17名、華海清科：成交量288.27萬手。3月28日消息，華海清科5日內股價下跌0.69%，該股最新報168.750元跌1.65%，成交4.94億元，換手率1.7%。
第18名、炬光科技：成交量250.38萬手。3月28日收盤消息，炬光科技688167收盤跌4.3%，報75.000。市值67.77億元。
第19名、易天股份：成交量212.5萬手。截至3月28日下午3點收盤，易天股份報19.400元，跌2.02%，換手率2.29%，成交量212.5萬手，市值為27.19億元。
第20名、盛美上海：成交量176.83萬手。3月28日，下午三點收盤盛美上海股票跌3.37%，當前價格為100.000元，成交額達到1.82億元，換手率0.41%，公司的總市值為441.29億元。
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