據南方財富網概念查詢工具數據顯示，半導體清洗設備龍頭股有：
盛美上海（688082）：半導體清洗設備龍頭股，
5月8日消息，盛美上海開盤報價106.73元，收盤于106.550元，跌0.34%。當日最高價107.1元，市盈率40.36。
公司專注于半導體清洗設備的研發，公司于濕法清洗領域獲得了突破，同時在電鍍、拋銅設備上嶄露頭角。憑借先進的自研產品，公司與大量國際知名企業建立了密切的合作關系，華虹集團、長江存儲、SK海力士、長鑫存儲等企業都是公司的長期伙伴，2021年來與多位海外新客戶取得訂單。
芯源微（688037）：半導體清洗設備龍頭股，
5月8日，芯源微(688037)15時收盤股價報97.590元，跌1.78%，市值為196.29億元，換手率1.69%，當日成交額3.34億元。
富樂德（301297）：半導體清洗設備龍頭股，
4月30日消息，截至下午三點收盤富樂德漲5.23%，報39.400元，換手率2.24%，成交量310.32萬手，成交額1.22億元。
半導體清洗設備概念股其他的還有：
萬業企業：5月8日消息，萬業企業(600641)開盤報14.57元，截至下午3點收盤，該股跌0.14%報14.570元。當前市值135.59億。
至正股份：5月8日消息，至正股份開盤報54.75元，截至15時，該股漲0.18%，報54.870元。3日內股價上漲1.24%，換手率2.16%，成交量161.26萬手。
士蘭微：士蘭微消息，5月8日該股開盤報25.15元，截至收盤，成交量1492.42萬手，換手率0.9%，總市值為418.68億元。
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