1、福晶科技：國產光刻機龍頭股
在晶體材料領域有技術優勢，為光刻機提供核心材料，以優質的晶體材料研發生產，增強國產光刻機的材料自主保障能力。
福晶科技在近30日股價上漲6.03%，最高價為36.69元，最低價為29.45元。當前市值為152.03億元，2025年股價下跌-0.22%。
2、張江高科：國產光刻機龍頭股
近30日股價上漲10.89%，2025年股價下跌-6.14%。
3、藍英裝備：國產光刻機龍頭股
近30日藍英裝備股價上漲9.08%，最高價為22.9元，2025年股價下跌-6.87%。
國產光刻機概念股其他的還有： 上海新陽、炬光科技、波長光電、賽微電子、華懋科技、百川股份、旭光電子、晶瑞電材、彤程新材、南大光電、奧普光電等。
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