據南方財富網概念查詢工具數據顯示，2025年光刻機龍頭上市公司有：
冠石科技：龍頭股，凈利5221.6萬、同比增長-36.04%。
公司募集資金投資項目為“光掩膜版制造項目”，主要產品為半導體光掩膜版，主要應用于IC領域。項目建成以后，將具備年產12，450片半導體光掩膜版的生產能力，產品制程覆蓋350-28nm。
在近30個交易日中，冠石科技有14天上漲，期間整體上漲3.23%，最高價為52.01元，最低價為43.69元。和30個交易日前相比，冠石科技的市值上漲了1.09億元，上漲了3.23%。
東方嘉盛：龍頭股，2023年公司凈利潤1.59億，同比增長2.76%。
2023年9月8日公司在互動平臺表示，公司上半年向深圳海關申請設立寄售維修保稅倉庫已獲批通過。七月初公司已經中標，將與國際頭部芯片光刻機廠商合作，共同在深圳建設寄售維修保稅倉庫，為華南片區集成電路制造企業提供全天候快速響應的光刻機寄售維修服務。
回顧近30個交易日，東方嘉盛股價下跌40.48%，最高價為22.6元，當前市值為55.33億元。
張江高科：龍頭股，2024年公司營業總收入19.83億，同比增長-2.09%，近五年復合增長為26.31%；凈利潤為9.27億，近五年復合增長為-14.31%。
回顧近30個交易日，張江高科股價下跌0.28%，最高價為27.27元，當前市值為387.17億元。
海立股份：龍頭股，2023年，海立股份公司實現凈利潤3051.29萬，同比增長-13.94%，近三年復合增長為-69.26%；每股收益0.03元。
海立股份在近30日股價上漲2.15%，最高價為12.44元，最低價為10.81元。當前市值為120億元，2025年股價下跌-9.12%。
京華激光：龍頭股，京華激光總營收近5年復合增長6.51%，凈利潤近5年復合增長-0.41％。
回顧近30個交易日，京華激光上漲34.93%，最高價為36.48元，總成交量5.75億手。
華特氣體：龍頭股，凈利1.71億、同比增長-17.18%。
近30日股價下跌14.63%，2025年股價上漲4.05%。
華懋科技：龍頭股，公司2024年實現凈利潤2.77億，毛利率30.92%，每股收益0.86元。
回顧近30個交易日，華懋科技股價上漲24.15%，總市值下跌了0，當前市值為137.05億元。2025年股價上漲24.11%。
三安光電：龍頭股，2024年三安光電總營收161.06億，同比增長14.61%；扣非凈利潤-5.11億，毛利率11.9%，凈利率1.59%，市盈率為248.8。
回顧近30個交易日，三安光電上漲3.05%，最高價為13.08元，總成交量9.02億手。
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