據南方財富網概念查詢工具數據顯示，2025年光刻機核心部件龍頭股：
同飛股份300990：光刻機核心部件龍頭股，近7個交易日，同飛股份下跌0.69%，最高價為67.19元，總市值下跌了8147.97萬元，下跌了0.69%。
8月22日消息，同飛股份8月22日主力資金凈流入1556萬元，超大單資金凈流入533.47萬元，大單資金凈流入1022.53萬元，散戶資金凈流出469.23萬元。
福晶科技002222：光刻機核心部件龍頭股，福晶科技近7個交易日，期間整體上漲4.86%，最高價為40.02元，最低價為45.58元，總成交量1.2億手。2025年來上漲27.16%。
8月22日主力資金凈流入1.01億元，超大單資金凈流入5432.11萬元，換手率4.92%，成交金額10.12億元。
藍英裝備300293：光刻機核心部件龍頭股，回顧近7個交易日，藍英裝備有5天上漲。期間整體上漲0.19%，最高價為26.5元，最低價為27.64元，總成交量1.78億手。
8月22日消息，藍英裝備8月22日主力凈流入4711.72萬元，超大單凈流入4276.84萬元，大單凈流入434.87萬元，散戶凈流出580.92萬元。
張江高科600895：光刻機核心部件龍頭股，近7日股價上漲4.06%，2025年股價上漲23.34%。
8月22日消息，張江高科主力凈流入2.15億元，超大單凈流入7104.02萬元，散戶凈流出1.56億元。
光刻機核心部件概念股其他的還有：
炬光科技：近5個交易日，炬光科技期間整體上漲23.42%，最高價為133元，最低價為96.68元，總市值上漲了27.36億。
騰景科技：近5個交易日，騰景科技期間整體上漲13.27%，最高價為75.58元，最低價為47.69元，總市值上漲了10.67億。
美埃科技：回顧近5個交易日，美埃科技有3天下跌。期間整體下跌5.1%，最高價為52.5元，最低價為49.99元，總成交量1178.84萬手。
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