據南方財富網概念查詢工具數據顯示，2025年光刻機龍頭股有：
冠石科技605588：光刻機龍頭股。
9月3日消息，冠石科技主力凈流入559.43萬元，超大單凈流入717.64萬元，散戶凈流入144.1萬元。
冠石科技（605588）10日內股價上漲0.54%，最新報57.500元/股，漲2.19%，今年來漲幅上漲29.11%。
容大感光300576：光刻機龍頭股。
9月3日消息，容大感光主力資金凈流入3811.03萬元，超大單資金凈流出337萬元，散戶資金凈流出2784.55萬元。
容大感光（300576）10日內股價下跌1.87%，最新報38.520元/股，漲3.33%，今年來漲幅下跌-17.29%。
大族激光002008：光刻機龍頭股。
9月2日該股主力凈入-3.33億元，其中資金流入方面：超大單凈入1.59億元，大單凈入4.66億元，中單凈入6.83億元，散戶凈入8.37億元；資金流出方面：超大單凈出3.03億元，大單凈出6.54億元，中單凈出7.56億元，散戶凈出4.31億元。
大族激光（002008）10日內股價上漲3.45%，最新報34.250元/股，跌0.26%，今年來漲幅上漲27.01%。
雅克科技002409：光刻機龍頭股。
資金流向數據方面，9月3日主力資金凈流流入1581.56萬元，超大單資金凈流入1267.44萬元，大單資金凈流入314.12萬元，散戶資金凈流出2938.65萬元。
9月3日消息，雅克科技資金凈流出1581.56萬元，超大單資金凈流入1267.44萬元，最新報58.790元，換手率4.24%，成交總金額8.02億元。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：9月3日開盤消息，東材科技5日內股價下跌15.82%，今年來漲幅上漲54.99%，最新報16.750元，成交額9.43億元。
上海機電：9月3日開盤消息，上海機電跌3.23%，最新報25.800元，成交金額6.12億元，換手率2.91%，振幅跌3.23%。
萬業企業：9月3日開盤消息，萬業企業今年來漲幅上漲6.16%，截至15時收盤，該股跌0.38%，報15.580元，總市值為144.99億元，PE為132.82。
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