據南方財富網概念查詢工具數據顯示，相關極紫外光刻題材上市企業有：
1、奧普光電002338：9月5日奧普光電（002338）開盤報47.51元，截至15點收盤，該股報50.030元漲5.3%，成交3.88億元，換手率3.31%。
在每股收益方面，奧普光電從2021年到2024年，分別為0.19元、0.34元、0.36元、0.28元。
K9玻璃和光學鍍膜晶體材料不用于光刻機上。
2、漢鐘精機002158：9月5日消息，漢鐘精機3日內股價下跌6.65%，最新報24.960元，漲4.13%，成交額9.33億元。
在總資產收益率方面，從2021年到2024年，分別為11.26%、12.62%、14.3%、13.7%。
2025-03-06互動易：公司真空泵可配套應用于半導體產業中拉晶、擴散、沉積、刻蝕、光刻、薄膜等制程。目前半導體真空泵營收還比較小，對公司整體業績影響不大。
3、藍英裝備300293：9月5日收盤消息，藍英裝備截至15時，該股報23.530元，漲2.66%，7日內股價下跌17.93%，總市值為79.63億元。
藍英裝備在凈資產收益率方面，從2021年到2024年，分別為-12.19%、-11.13%、-2.7%、-2.4%。
公司精密清洗業務的芯片行業企業客戶包括光刻機制造企業的合資（參股）公司。
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