據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機股票龍頭股有：
同飛股份：龍頭，9月9日同飛股份消息，7日內股價下跌20.43%，該股最新報67.020元跌0.62%，成交總金額1.51億元，市值為113.77億元。
同飛股份公司2025年第二季度凈利潤6298.81萬，同比上年增長率為272.7%。
海立股份：龍頭，9月9日消息，海立股份5日內股價下跌16.84%，最新報20.210元，成交量7819.08萬手，總市值為216.92億元。
2025年第二季度季報顯示，公司凈利潤1809.85萬，同比上年增長率為68.71%。
福晶科技：龍頭，9月9日消息，福晶科技7日內股價下跌10.49%，截至15時收盤，該股報41.310元，跌1.77%，總市值為194.26億元。
2025年第二季度季報顯示，公司凈利潤7823.36萬，同比上年增長率為27.67%。
冠石科技：龍頭，9月9日冠石科技消息，7日內股價下跌0.8%，該股最新報53.170元跌4.01%，成交總金額9142.53萬元，市值為39.06億元。
冠石科技2025年第二季度季報顯示，公司凈利潤-281.51萬，同比上年增長率為-128.58%。
奧普光電：奧普光電在近3個交易日中有1天上漲，期間整體上漲4.5%，最高價為51.28元，最低價為46.49元。2025年股價上漲24.18%。中科院長光所控股，國內高端光柵編碼器龍頭企業，布局超精尺，可用于光刻機。
百川股份：近3日股價上漲5.11%，2025年股價下跌-6.11%。光刻機溶劑PMA。
上海新陽：近3日上海新陽上漲2.9%，現報50.4元，2025年股價上漲28.27%，總市值158.48億元。ARF光刻膠處于客戶測試階段。
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