茂萊光學：龍頭，
12月24日消息，茂萊光學收盤于407.190元，跌0.62%。7日內股價上漲6.7%，總市值為215億元。
近30日股價上漲12.12%，2025年股價上漲50.54%。
精密光學器件已應用于國產光刻機，包括用于勻光、中繼照明模塊的光學器件、投影物鏡，以及用于工件臺位移測量系統的棱鏡組件。
同飛股份：龍頭，
12月24日收盤消息，同飛股份7日內股價上漲23.5%，最新漲3.6%，報96.350元，換手率23.03%。
近30日股價上漲19.25%，2025年股價上漲57.14%。
海立股份：龍頭，
12月24日消息，海立股份5日內股價上漲4.09%，最新報21.020元，成交量4353.32萬手，總市值為225.62億元。
近30日海立股份股價上漲3.09%，最高價為23.65元，2025年股價上漲41.96%。
藍英裝備：龍頭，
12月24日收盤最新消息，藍英裝備昨收21.45元，截至收盤，該股漲0.7%報21.600元 。
在近30個交易日中，藍英裝備有16天下跌，期間整體下跌3.24%，最高價為23.69元，最低價為22.08元。和30個交易日前相比，藍英裝備的市值下跌了2.37億元，下跌了3.24%。
冠石科技：龍頭，
12月24日收盤消息，冠石科技今年來漲幅上漲21.6%，最新報51.990元，成交額1.22億元。
回顧近30個交易日，冠石科技股價下跌2.48%，最高價為54.58元，當前市值為38.2億元。
國產光刻機概念股其他的還有：
大族激光：布局光刻機激光光源技術，其精密光學系統已切入國產光刻機供應鏈。業績爆發：2024年Q1凈利潤同比激增594%，毛利率33.3%，技術儲備對標ASML。想象空間：激光直寫光刻設備已實現量產，未來或切入先進封裝領域。
普利特：間接參股蘇州理碩科技，其涉及光刻膠研發。
奧普光電：中科院長光所控股，國內高端光柵編碼器龍頭企業，布局超精尺，可用于光刻機。
北方華創：半導體設備全產業鏈布局，覆蓋光刻、沉積、刻蝕，為國產CPU制造提供一站式設備支持。
華軟科技：公司光刻膠基材小批量訂單。
百川股份：光刻機溶劑PMA。
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