據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機上市龍頭企業有：
茂萊光學：國產光刻機龍頭，12月31日該股主力凈入-63.18萬元，其中資金流入方面：超大單凈入4350.59萬元，大單凈入1.21億元，中單凈入2.04億元，散戶凈入1.05萬元；資金流出方面：超大單凈出4473.62萬元，大單凈出1.21億元，中單凈出2.02億元，散戶凈出148.76萬元。
12月31日消息，茂萊光學最新報399.050元，漲0.53%。成交量93.39萬手，總市值為210.7億元。
精密光學器件已應用于國產光刻機，包括用于勻光、中繼照明模塊的光學器件、投影物鏡，以及用于工件臺位移測量系統的棱鏡組件。
冠石科技：國產光刻機龍頭，12月31日該股主力凈入-371.11萬元，其中資金流入方面：超大單凈入373.23萬元，大單凈入1098.5萬元，中單凈入1669.9萬元，散戶凈入1922.89萬元；資金流出方面：超大單凈出519.61萬元，大單凈出1323.23萬元，中單凈出1152.56萬元，散戶凈出2069.12萬元。
12月31日開盤消息，冠石科技截至15時收盤，該股報50.490元，漲0.36%，7日內股價下跌1.27%，總市值為37.09億元。
藍英裝備：國產光刻機龍頭，12月31日該股主力資金凈流出491.99萬元，超大單資金凈流出304.32萬元，大單資金凈流出187.67萬元，中單資金凈流出366.33萬元，散戶資金凈流入858.31萬元。
12月31日開盤消息，藍英裝備3日內股價下跌0.66%，最新報21.120元，成交額9381.97萬元。
國產光刻機概念股其他的還有：
大族激光：12月31日消息，大族激光(002008)開盤報41.75元，截至15時，該股跌1.69%報41.190元，換手率1.68% ，成交額6.68億元。面板上游設備國產配套，國內激光設備龍頭。
普利特：12月31日開盤消息，普利特截至15點，該股報15.990元，漲2.37%，7日內股價上漲18.01%，總市值為177.86億元。間接參股蘇州理碩科技，其涉及光刻膠研發。
奧普光電：奧普光電最新報價58.390元，7日內股價上漲1.2%；市盈率為208.54。公司子公司禹衡光學產品在國產高精度數控機床，特別是五軸加工中心、高精度磨床等已經實現批量應用。
北方華創：12月31日開盤消息，北方華創最新報價459.080元，漲0.02%，3日內股價上漲1.37%；市盈率為43.42。半導體設備全產業鏈布局，覆蓋光刻、沉積、刻蝕，為國產CPU制造提供一站式設備支持。
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