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　　ASML官宣全新半導體技術 5nm工藝產能有望暴漲600%全球最大光刻機設備商ASML近日在官網宣布，完成第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000的測試。據悉，HMI eScan1000是一套基于HMI多光束技術的檢測系統，用于驗證先進工藝生產出來的晶圓質量。工藝越先進，檢測系統就越重要，后者的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。該設備適用于5nm及更先進工藝，突破之處在于能夠同時產生、控制九道電子束，幫助產能提升600%，可以減少晶圓質量分析所用的時間。

　　光刻機是半導體制造領域的核心設備之一，阿斯麥公司是全球技術水平最高、影響力最大的光刻設備供應商，也是全球最先進極紫外（EUV）光刻機的唯一供應商。

　　根據“無錫發布”的消息稱，5月14日，無錫高新區與阿斯麥（ASML）簽署戰略合作協議，擴建升級光刻設備技術服務（無錫）基地。 　　南方財富網微信號：南方財富網