涂膠顯影有哪些上市公司？
芯源微（688037）：
主要生產(chǎn)光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備，其產(chǎn)品打破了國外壟斷，下游客戶覆蓋國內(nèi)大部分LED芯片制造企業(yè)和高端封裝企業(yè)。
盛美上海（688082）：
公司先后開發(fā)了前道半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍設(shè)備、立式爐管系列設(shè)備、涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD設(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備；后道先進(jìn)封裝工藝設(shè)備以及硅材料襯底制造工藝設(shè)備等。
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