國產光刻機股票龍頭股有哪些？據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機題材龍頭股有：
蘇大維格：龍頭，
在營業總收入方面，公司從2020年到2023年，分別為13.92億元、17.37億元、17.16億元、17.23億元。
回顧近30個交易日，蘇大維格股價上漲10.27%，總市值上漲了5.56億，當前市值為59.44億元。2025年股價上漲5.5%。
國內領先的微納光學制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術國內領先。
海立股份：龍頭，
在總資產周轉率方面，從2020年到2023年，分別為0.77次、0.88次、0.8次、0.82次。
海立股份在近30日股價上漲11.77%，最高價為12.59元，最低價為10.46元。當前市值為131.27億元，2025年股價上漲0.25%。
為上海微電子的相關設備提供冷卻配套系統，已實現供貨。
冠石科技：龍頭，
冠石科技在扣非凈利潤方面，從2020年到2023年，分別為8717.32萬元、8413.56萬元、6134.39萬元、4626.95萬元。
回顧近30個交易日，冠石科技股價上漲14.13%，最高價為47.31元，當前市值為33.79億元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
藍英裝備：龍頭，
在凈資產收益率方面，藍英裝備從2020年到2023年，分別為-27.32%、-12.19%、-11.13%、-2.7%。
近30日藍英裝備股價上漲19.76%，最高價為28.88元，2025年股價上漲15.44%。
全球領先的清洗系統和表面處理設備提供商，為ZEISS提供精密清洗設備，為ASML提供精密清洗解決方案。
國產光刻機概念股其他的還有：
百川股份：光刻機溶劑PMA。
上海新陽：ARF光刻膠處于客戶測試階段。
南大光電：ARF光刻膠獲部分客戶認證。
賽微電子：主營MEMS芯片工藝開發及晶圓制造，GaN外延材料研發生產及芯片設計。子公司Silex為全球光刻龍頭公司提供微鏡系統。
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