據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，相關(guān)光刻技術(shù)上市公司有：
（1）、蘇大維格：蘇大維格2025年第一季度季報顯示，公司實現(xiàn)營業(yè)總收入4.53億元，同比增長-3.93%；實現(xiàn)毛利潤9457.96萬元。
公司長期從事激光直寫光刻機的研制，尤其在用于新一輪光子傳感器的納米光刻機研制領(lǐng)域積累了豐富且較為完善的技術(shù)經(jīng)驗，可為國內(nèi)外高等院所和企業(yè)提供自主可控的直寫光刻技術(shù)和光電子材料與器件技術(shù)方案，包括微納光學(xué)材料、MEMS產(chǎn)品、射頻器件、濾波器件等產(chǎn)品的研發(fā)與制造，也可為今后裸眼3D顯示、光子晶體、半導(dǎo)體功率芯片等研發(fā)和制備等方面，提供前沿性和實用性納米光刻工具。公司光刻設(shè)備除自用外，主要向國內(nèi)外高校及科研院所銷售。
蘇大維格近7個交易日，期間整體下跌6.6%，最高價為22.47元，最低價為23.16元，總成交量5909.92萬手。2025年來下跌-0.6%。
（2）、芯碁微裝：芯碁微裝公司2024年第三季度實現(xiàn)總營收2.68億，同比增長30.87%；毛利潤1.06億，毛利率39.51%。
微納直寫光刻技術(shù)為核心的直接成像及直寫光刻設(shè)備研發(fā)、制造、銷售及維保。
近7日芯碁微裝股價上漲5.52%，2025年股價上漲33.49%，最高價為90.48元，市值為114.34億元。
（3）、惠倫晶體：2025年第一季度，公司實現(xiàn)總營收1.24億，同比增長-6.43%；毛利潤1880.18萬。
公司掌握的光刻技術(shù)主要應(yīng)用于MHz領(lǐng)域，既能實現(xiàn)晶片的小型化也能實現(xiàn)晶片的高基頻。
近7日股價下跌2.61%，2025年股價下跌-13.04%。
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