據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市龍頭公司有：
海立股份600619：龍頭。近7日海立股份股價上漲0.13%，2025年股價上漲21.99%，最高價為18.1元，市值為167.87億元。
海立股份2024年營業收入187.47億，同比增長10.08%。
微電子裝備集團的系統級合作商。
大族激光002008：龍頭。近7日大族激光股價下跌1.17%，2025年股價上漲5.87%，最高價為28.3元，市值為273.46億元。
2024年報顯示，大族激光的營業收入147.71億元，同比增長4.83%。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：8月1日收盤短訊，東材科技股價15點跌4.96%，報價16.660元，市值達到149.4億。
上海機電：8月1日消息，收盤上海機電報25.640元，較前一交易日漲1.02%。當日該股換手率3.35%，成交量達到了2701.91萬手，成交額總計為6.95億元。
萬業企業：8月1日收盤消息，萬業企業收盤于14.440元，跌1.23%。今年來漲幅下跌-1.25%，總市值為134.38億元。
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