2024年第二季度光刻機概念上市公司研發投入排行榜如下：上海電氣（601727）研發投入總額高達23.27億，北方華創（002371）和大族激光（002008）分別排名第二和第三，紫光國微（002049）、華潤微（688396）、中微公司（688012）、海立股份（600619）、盛美上海（688082）、納芯微（688052）、三安光電（600703）分別進入前十，其研發投入總額分別排名第4-10名。
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