2024年第二季度，光刻機板塊股票研發費用排行榜中，上海電氣（601727）研發費用總額高達23.27億，北方華創（002371）和大族激光（002008）位居第二和第三，紫光國微（002049）、華潤微（688396）、中微公司（688012）、海立股份（600619）、上海機電（600835）、盛美上海（688082）、納芯微（688052）進入前十，研發費用總額分別排名第4-10名。
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