據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機上市公司龍頭有：
張江高科：
國產光刻機龍頭股。張江高科2024年第三季度營收同比增長-62.08%至4.57億元，凈利潤同比增長-34.1%至2.45億元。
公司全資子公司張江浩成創業投資有限公司持有上海微電子10.78%股份；上海微電子是國產光刻機龍頭，已具備90nm光刻機的生產能力。
近7個交易日，張江高科下跌5.64%，最高價為25.11元，總市值下跌了21.06億元，2025年來下跌-11.2%。
茂萊光學：
國產光刻機龍頭股。茂萊光學公司2024年第三季度總營收1.34億，同比增長11.25%；凈利潤891.92萬，同比增長15.76%。
精密光學器件已應用于國產光刻機，包括用于勻光、中繼照明模塊的光學器件、投影物鏡，以及用于工件臺位移測量系統的棱鏡組件。
近7日茂萊光學股價下跌10.35%，2025年股價上漲14.65%，最高價為275.72元，市值為124.6億元。
海立股份：
國產光刻機龍頭股。在每股收益方面，海立股份從2020年到2023年，分別為0.19元、0.34元、0.03元、0.03元。
在近7個交易日中，海立股份有3天下跌，期間整體下跌3.76%，最高價為11.99元，最低價為11.09元。和7個交易日前相比，海立股份的市值下跌了4.4億元。
冠石科技：
國產光刻機龍頭股。2024年第三季度，冠石科技實現營業總收入3.4億元，同比增長45.08%；實現扣非凈利潤-971.1萬元，同比增長-161.42%；毛利潤為3136.5萬。
近7日冠石科技股價下跌7.09%，2025年股價上漲1.31%，最高價為44.23元，市值為30.35億元。
藍英裝備：
國產光刻機龍頭股。藍英裝備2024年第三季度季報顯示，公司實現凈利潤-125.57萬，同比增長57.53%；毛利潤為8976.35萬，毛利率30.39%。
近7個交易日，藍英裝備下跌6.65%，最高價為22.31元，總市值下跌了4.81億元，下跌了6.65%。
同飛股份：
國產光刻機龍頭股。在EPS方面，公司從2020年到2023年，分別為3.2元、1.4元、0.76元、1.08元。
近7日同飛股份股價下跌0.33%，2025年股價下跌-4.8%，最高價為43.06元，市值為66.76億元。
福晶科技：
國產光刻機龍頭股。2024年第三季度，福晶科技營收同比增長8.96%至2.26億元，凈利潤同比增長9.47%至5842.94萬元，毛利潤為1.28億，毛利率56.76%。
近7日股價下跌3.61%，2025年股價上漲2.41%。
蘇大維格：
國產光刻機龍頭股。2024年第三季度顯示，公司營收4.63億，同比增長-0.75%；實現歸母凈利潤512.41萬，同比增長599.85%；每股收益為0.02元。
近7日股價下跌7.74%，2025年股價下跌-13.07%。
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