據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機龍頭股有：
海立股份：龍頭，4月25日消息，海立股份最新報價11.520元，3日內股價上漲0.97%；今年來漲幅下跌-7.3%，市盈率為384。
控股子公司海立特冷有銷售光刻機用冷卻系統，該業務規模較小。
華懋科技：龍頭，4月25日消息，華懋科技截至14時15分，該股報33.980元，漲1.5%，3日內股價上漲0.21%，總市值為111.81億元。
南大光電：龍頭，4月25日消息，南大光電3日內股價下跌0.21%，最新報38.590元，跌0.1%，成交額5.45億元。
光刻機概念股其他的還有：
永新光學：在近5個交易日中，永新光學有2天上漲，期間整體上漲0.84%。和5個交易日前相比，永新光學的市值上漲了8002.84萬元，上漲了0.84%。
紫光國微：近5個交易日股價下跌3.24%，最高價為68.91元，總市值下跌了18.01億，當前市值為559.48億元。
彤程新材：近5日股價下跌0.92%，2025年股價下跌-11.37%。
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