據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機龍頭股有：
海立股份（600619）：國產光刻機龍頭股，
5月23日收盤消息，海立股份（600619）跌0.6%，報11.520元，成交額4.26億元。
全球最大的LBO、BBO非線性光學晶體生產商，中科院福建物構所控股，精密光學元件、晶體間接供應ASML。與奧普光電類似，股價在144天線穩住以后，最近的走勢大有反轉新高的趨勢。
張江高科（600895）：國產光刻機龍頭股，
5月21日消息，張江高科7日內股價下跌0.04%，最新報25.250元，成交額5.65億元。
國產光刻機概念股其他的還有：
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