據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市公司龍頭股有：
1、王子新材（002735）：
光刻機龍頭股，截至發稿，王子新材（002735）漲0.38%，報15.700元，成交額3.33億元，換手率7.61%，振幅漲0.38%。
2、京華激光（603607）：
光刻機龍頭股，8月22日消息，京華激光開盤報27.2元，截至15時，該股跌0.48%，報26.890元。3日內股價下跌1.04%，換手率4.88%，成交量871.84萬手。
公司控股的美國菲涅爾制版科技公司是一家多年從事微結構光學技術研發及相關設備制造和維護的企業，先后研發出多臺技術先進、性能突出、與光學制版有關的光刻機設備，并在全球范圍內獨家供應公司使用。
東材科技（601208）：回顧近3個交易日，東材科技期間整體上漲6.68%，最高價為17.33元，總市值上漲了11.6億元。2025年股價上漲60.63%。
上海機電（600835）：近3日上海機電股價下跌4.77%，總市值上漲了37.74億元，當前市值為308.56億元。2025年股價上漲40.6%。
萬業企業（600641）：萬業企業（600641）3日內股價3天上漲，上漲1.69%，最新報15.41元，2025年來上漲5.19%。
電科數字（600850）：近3日股價上漲2.14%，2025年股價上漲11.81%。
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