據南方財富網概念查詢工具數據顯示，微機電系統行業上市公司有：
從近五年營收復合增長來看，航天電器近五年營收復合增長為4.47%，過去五年營收最低為2020年的42.18億元，最高為2023年的62.1億元。
隨著智能化技術的發展，元器件或微集成元器件系統將具有一定的智能性。
從北方華創近五年營收復合增長來看，近五年營收復合增長為48.99%，過去五年營收最低為2020年的60.56億元，最高為2024年的298.38億元。
2021年7月23日回復稱公司可以提供漿料制備系統、真空攪拌機、涂布機、強力軋膜機、高速分切機等鋰電池相關設備。
從賽微電子近五年營收復合增長來看，近五年營收復合增長為12.02%，過去五年營收最低為2020年的7.65億元，最高為2023年的13億元。
2020年5月30日互動平臺回復，公司一直為全球光刻機巨頭廠商提供透鏡系統MEMS部件的工藝開發與晶圓制造服務。
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