據南方財富網概念查詢工具數據顯示，微機電系統題材公司有：
晶方科技603005：10月21日該股主力凈流入1.55億元，超大單凈流入1.14億元，大單凈流入4180.59萬元，中單凈流出4995.41萬元，散戶凈流出1.05億元。
公司目前封裝產品主要有影像傳感芯片、環境光應芯片、微機電系統(MEMS)、生物識別芯片等，廣泛應用于手機、照相機、醫學電子、安防設備等多領域。
北方華創002371：10月21日該股主力凈入4096.42萬元，其中資金流入方面：超大單凈入4.54億元，大單凈入9.43億元，中單凈入16.13億元；資金流出方面：超大單凈出3.44億元，大單凈出10.12億元，中單凈出16.54億元，散戶凈出66.13萬元。
公司提供的半導體設備及部件類產品包括刻蝕機、PVD、CVD、氧化爐、擴散爐、清洗機及MFC等7大類，面向集成電路、先進封裝、半導體照明、微機電系統、功率半導體、化合物半導體、新能源光伏、平板顯示等8個產品領域，涵蓋了半導體生產前處理工藝制程中的大部分關鍵工藝裝備。
至純科技603690：10月21日消息，至純科技資金凈流出9218.1萬元，超大單凈流出4367.68萬元，換手率13.04%，成交金額16.97億元。
高純工藝系統國內領先。
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