據南方財富網概念查詢工具數據顯示，2025年國產光刻機龍頭股有：
藍英裝備300293：
龍頭股，藍英裝備公司2024年第三季度實現營業總收入2.95億，同比增長-27.05%；實現歸母凈利潤-125.57萬，同比增長57.53%。
全球領先的清洗系統和表面處理設備提供商，為ZEISS提供精密清洗設備，為ASML提供精密清洗解決方案。
2月21日，藍英裝備收盤漲2.39%，報于23.960。當日最高價為24.05元，最低達23.07元，成交量1731.18萬手，總市值為81.09億元。
張江高科600895：
龍頭股，張江高科2024年第三季度季報顯示，公司實現營收4.57億，同比增長-62.08%；凈利潤2.45億，同比增長-34.1%；每股收益為0.16元。
全資子公司張江浩成創業投資有限公司持有上海微電子10.78%股份，上海微電子是國產光刻機龍頭。
2025年2月23日，近3日張江高科股價上漲1.98%，現報26.760元，總市值為414.43億元，換手率2.96%。
福晶科技002222：
龍頭股，福晶科技2024年第三季度，公司實現營業總收入2.26億，同比增長8.96%；凈利潤5842.94萬，同比增長9.47%；每股收益為0.12元。
2月21日消息，今日福晶科技(002222)15時收盤報價35.390元，跌0.45%，盤中最高價為36.11元，7日內股價上漲2.54%，市值為166.42億元，換手率5.12%。
冠石科技605588：
龍頭股，2024年第三季度季報顯示，冠石科技公司總營收3.4億，同比增長45.08%；凈利潤-858.54萬，同比增長-146.82%。
2月21日消息，冠石科技7日內股價上漲4.18%，最新報44.530元，成交額1.15億元。
蘇大維格300331：
龍頭股，公司2024年第三季度季報顯示，2024年第三季度實現營業總收入4.63億，同比增長-0.75%；實現歸母凈利潤512.41萬，同比增長599.85%；每股收益為0.02元。
蘇大維格(300331)連續三日融資凈買入累計146756597元，融資余額266884593元。2月21日15時蘇大維格股價報22.150元，漲0.05%，總市值為57.52億元。
國產光刻機概念股其他的還有：
南大光電：截至15點，南大光電漲2.05%，股價報38.810元，成交2738.03萬股，成交金額10.54億元，換手率5%，最新A股總市值達223.53億元，A股流通市值212.34億元。
賽微電子：2月21日，賽微電子開盤報18.48元，截至下午三點收盤，報18.880元，成交額7.59億元，換手率6.79%，市值為138.24億元。
彤程新材：2月21日收盤消息，彤程新材7日內股價下跌3.69%，最新漲1.85%，報34.660元，換手率1.55%。
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