據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機板塊龍頭股票有：
蘇大維格（300331）：
龍頭股，11月19日該股主力凈流入654.03萬元，超大單凈流出414.37萬元，大單凈流入1068.4萬元，中單凈流出424.83萬元，散戶凈流出229.2萬元。
國內領先的微納光學制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術國內領先。
2023年報顯示，蘇大維格實現凈利潤-4568.79萬，同比增長83.63%。
同飛股份（300990）：
龍頭股，7月31日消息，同飛股份資金凈流出176.34萬元，超大單資金凈流出101.89萬元，換手率9.13%，成交金額3.16億元。
液體恒溫設備。
公司2023年實現凈利潤1.82億元，同比上年增長率為42.69%。
冠石科技（605588）：
龍頭股，10月16日消息，冠石科技主力資金凈流出1231.72萬元，超大單資金凈流出215.19萬元，散戶資金凈流入1391.84萬元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
2023年報顯示，冠石科技實現凈利潤5221.6萬，同比增長-36.04%，近五年復合增長為-13.27%；毛利率15.84%。
海立股份（600619）：
龍頭股，7月9日該股主力資金凈流出308.48萬元，超大單資金凈流入30.1萬元，大單資金凈流出338.58萬元，中單資金凈流入128.32萬元，散戶資金凈流入180.16萬元。
為上海微電子的相關設備提供冷卻配套系統，已實現供貨。
2023年海立股份凈利潤3051.29萬，同比上年增長率為-13.94%。
茂萊光學（688502）：
龍頭股，資金流向數據方面，7月18日主力資金凈流流入54.27萬元，超大單資金凈流入99.08萬元，大單資金凈流出44.81萬元，散戶資金凈流入193.74萬元。
公司研發的DUV光學透鏡已應用于SMEE國產光刻機中，公司半導體檢測設備光學模組供貨KL。
公司2023年實現凈利潤4672.38萬元，同比上年增長率為-20.83%。
張江高科（600895）：
龍頭股，7月5日資金凈流出2156.7萬元，超大單凈流出2447.83萬元，換手率1.64%，成交金額6.71億元。
公司2023年實現凈利潤9.48億元，同比上年增長率為15.29%。
藍英裝備（300293）：
龍頭股，11月19日消息，藍英裝備11月19日主力資金凈流入1342.84萬元，超大單資金凈流入1681.77萬元，大單資金凈流出338.93萬元，散戶資金凈流出537.54萬元。
2023年報顯示，藍英裝備凈利潤-2098.11萬，同比增長61.5%，近四年復合增長為-51.49%；毛利率27.17%。
福晶科技（002222）：
龍頭股，11月19日消息，福晶科技主力凈流入2881.67萬元，超大單凈流入2890.9萬元，散戶凈流出2677.19萬元。
公司2023年實現凈利潤2.09億，毛利率56.18%，每股收益0.49元。
國產光刻機板塊股票其他的還有：
南大光電300346：近7個交易日，南大光電上漲0.42%，最高價為36.84元，總市值上漲了9215.43萬元，2025年來下跌-1.77%。
賽微電子300456：回顧近7個交易日，賽微電子有5天上漲。期間整體上漲6.7%，最高價為16.12元，最低價為18.18元，總成交量1.18億手。
彤程新材603650：回顧近7個交易日，彤程新材有5天上漲。期間整體上漲0.43%，最高價為33.5元，最低價為35.38元，總成交量3514.4萬手。
數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。股市有風險，投資需謹慎。
南方財富網聲明：資訊僅代表作者個人觀點。不保證該信息（包括但不限于文字、數據及圖表）全部或者部分內容的準確性、真實性、完整性、有效性、及時性、原創性等，若有侵權，請第一時間告知刪除。僅供投資者參考，并不構成投資建議。投資者據此操作，風險自擔。