據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機上市公司龍頭股有：
福晶科技002222：國產光刻機龍頭股。
4月17日盤中短訊，福晶科技股價14時24分漲1.76%，報價33.670元，市值達到158.33億。
4月11日主力資金凈流出966.68萬元，超大單資金凈流入1997.39萬元，換手率2.02%，成交金額3.2億元。
冠石科技605588：國產光刻機龍頭股。
4月17日午后消息，冠石科技最新報價46.030元，漲3.5%，3日內股價下跌5.78%；今年來漲幅上漲8.03%，市盈率為64.83。
資金流向數據方面，10月16日主力資金凈流流出1231.72萬元，超大單資金凈流出215.19萬元，大單資金凈流出1016.53萬元，散戶資金凈流入1391.84萬元。
同飛股份300990：國產光刻機龍頭股。
4月17日消息，同飛股份5日內股價上漲2.69%，今年來漲幅下跌-6.66%，最新報42.330元，市盈率為39.19。
7月31日消息，資金凈流出176.34萬元，超大單凈流出101.89萬元，成交金額1.2億元。
藍英裝備300293：國產光刻機龍頭股。
4月17日，藍英裝備收盤漲2.62%，報于21.590。當日最高價為22.5元，最低達20.72元，成交量1061.09萬手，總市值為73.07億元。
4月11日資金凈流入1876.7萬元，超大單凈流入1080.17萬元，換手率3.79%，成交金額2.3億元。
國產光刻機上市公司其他的還有：
南大光電300346：近3日南大光電股價下跌1.72%，總市值上漲了15.9億元，當前市值為223.3億元。2025年股價下跌-0.57%。
賽微電子300456：回顧近3個交易日，賽微電子期間整體下跌2.85%，最高價為15.78元，總市值下跌了3.22億元。2025年股價下跌-11.2%。
彤程新材603650：彤程新材（603650）3日內股價2天上漲，上漲0.06%，最新報32.18元，2025年來下跌-10.98%。
奧普光電002338：近3日股價下跌3.11%，2025年股價上漲3.73%。
旭光電子600353：旭光電子在近3個交易日中有2天下跌，期間整體下跌9.37%，最高價為8.68元，最低價為8.16元。2025年股價上漲7.32%。
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