據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市龍頭企業有：
晶瑞電材：光刻機龍頭，7月11日消息，晶瑞電材資金凈流入143.55萬元，超大單資金凈流出474.66萬元，換手率3.07%，成交金額2.96億元。
近7個交易日，晶瑞電材下跌2.17%，7月10日該股最高價為9.79元，總市值為102.67億元，換手率3.07%，振幅漲0.1%。
參股子公司湖北晶瑞擬引入大基金二期等戰投，該公司自成立以來一直致力于布局電子級雙氧水、電子級氨水等半導體及面板顯示用電子材料等。
南大光電：光刻機龍頭，7月11日消息，資金凈流出540.47萬元，超大單資金凈流出559.51萬元，成交金額3.84億元。
7月11日，南大光電股票漲0.97%，截至下午三點收盤，股價報31.130元，成交額3.84億元，換手率1.88%，7日內股價下跌1.93%。
福晶科技：光刻機龍頭，7月11日消息，福晶科技7月11日主力資金凈流入607.41萬元，超大單資金凈流入74.53萬元，大單資金凈流入532.88萬元，散戶資金凈流入309.9萬元。
7月11日盤后最新消息，收盤報：33.300元，成交金額：2.24億元，主力資金凈流入：607.41萬元，占比2.71%。換手率1.44%。
光刻機概念股其他的還有：
安泰科技：7月11日盤后最新消息，收盤報：13.050元，成交金額：7.89億元，主力資金凈流入：3729.11萬元，占比4.73%。換手率5.9%。公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
中旗新材：7月10日消息，中旗新材(001212)開盤報38.52元，截至15點，該股跌6.9%報36.700元，換手率6.32% ，成交額3.58億元。2025年6月3日投資者關系活動記錄表顯示，公司的產品主要定位于未來的先進封裝技術，包括2.5D、3D封裝，以及面向人工智能應用的芯片制造所需的特殊設備的設計、開發與制造。目前，星空科技已初步形成了光刻機系列、納米壓印系列、芯片鍵合系列、硅片鍵合系列以及光學檢測系列等多個產品體系。
聯合精密：7月8日消息，聯合精密5日內股價上漲6.34%，最新報27.120元，成交量390.06萬手，總市值為29.27億元。公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
紅寶麗：7月11日紅寶麗消息，該股15時收盤報9.600元，跌1.25%，換手率9.05%，成交量6587.94萬手，今年來上漲55.42%。公司的主要產品是異丙醇胺，該產品可以應用于光刻膠清洗。
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