據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機龍頭有：
藍英裝備：龍頭股。藍英裝備近7個交易日，期間整體上漲3.93%，最高價為21.75元，最低價為23.84元，總成交量7551.34萬手。2025年來上漲1.86%。
藍英裝備公司2023年實現凈利潤-2098.11萬，同比上年增長率為61.5%，近3年復合增長-44.89％。
全球領先的清洗系統和表面處理設備提供商，為ZEISS提供精密清洗設備，為ASML提供精密清洗解決方案。
同飛股份：龍頭股。回顧近7個交易日，同飛股份有5天上漲。期間整體上漲5.02%，最高價為40.44元，最低價為46元，總成交量2843.44萬手。
公司2023年實現凈利潤1.82億，同比增長42.69%，近三年復合增長為23.31%；毛利率27.5%。
液體恒溫設備。
蘇大維格：龍頭股。近7個交易日，蘇大維格上漲2.22%，最高價為20.15元，總市值上漲了1.22億元，上漲了2.22%。
2023年報顯示，蘇大維格凈利潤-4568.79萬，同比增長83.63%。
國內領先的微納光學制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術國內領先。
南大光電：近5日股價上漲1.87%，2025年股價下跌-1.77%。
賽微電子：回顧近5個交易日，賽微電子有4天上漲。期間整體上漲5.52%，最高價為18.18元，最低價為16.5元，總成交量9522.42萬手。
彤程新材：近5個交易日股價上漲2.83%，最高價為35.38元，總市值上漲了5.87億。
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