據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機龍頭有：
1、福晶科技002222：國產光刻機龍頭股。
2023年報顯示，福晶科技公司的毛利率56.18%，凈利率26.95%，總營業收入7.82億，同比增長1.73%；扣非凈利潤1.94億，同比增長-9.85%。
截止2月10日12時30分福晶科技（002222）跌1.31%，報36.460元/股，3日內股價上漲1.67%，換手率5.43%，成交額9.29億元。
2、冠石科技605588：國產光刻機龍頭股。
2023年報顯示，冠石科技公司實現營收8.94億，同比去年增長-19.26%；毛利率15.84%。
2月12日開盤消息，冠石科技今年來漲幅上漲6.41%，最新報43.550元，成交額7402.41萬元。
3、同飛股份300990：國產光刻機龍頭股。
2023年報顯示，同飛股份凈利潤1.82億，同比增長42.69%，近四年復合增長為13.5%；毛利率27.5%。
2月12日開盤最新消息，同飛股份5日內股價上漲10.89%，截至13時03分，該股報44.700元漲0.13% 。
4、海立股份600619：國產光刻機龍頭股。
公司2023年實現凈利潤3051.29萬，同比增長-13.94%，近五年復合增長為-42.82%；每股收益0.03元。
2月12日消息，海立股份截至09時41分，該股報12.230元，漲0.34%，3日內股價上漲1.23%，總市值為131.27億元。
5、蘇大維格300331：國產光刻機龍頭股。
2023年蘇大維格實現營業收入17.23億元，同比增長0.4%；歸屬母公司凈利潤-4568.79萬元，同比增長83.63%；扣除非經常性損益后歸屬母公司所有者的凈利潤為-6635.9萬元，同比增長78.7%。
2月12日股市消息，蘇大維格（300331）開盤報21.470元/股，漲1.47%。公司股價沖高至21.49元，最低達21.08元，換手率3.73%。
6、張江高科600895：國產光刻機龍頭股。
公司2023年營業收入20.26億，同比增長6.24%。
2月11日開盤消息，張江高科最新報26.990元，成交量4289.19萬手，總市值為417.99億元。
7、茂萊光學688502：國產光刻機龍頭股。
2023年凈利潤4672.38萬，同比增長-20.83%。
2月10日開盤消息，茂萊光學截至15點，該股報276.860元，漲3.52%，7日內股價上漲14.77%，總市值為146.18億元。
8、藍英裝備300293：國產光刻機龍頭股。
藍英裝備2023年營業收入14.42億，同比增長14.12%。
2月12日消息，藍英裝備今年來漲幅上漲5.69%，最新報24.090元，漲4.06%，成交額3.81億元。
國產光刻機概念股其他的還有：
南大光電：南大光電近7個交易日，期間整體上漲6.28%，最高價為36.7元，最低價為39.59元，總成交量1.22億手。2025年來上漲1.46%。
賽微電子：賽微電子近7個交易日，期間整體上漲10.62%，最高價為16.22元，最低價為18.18元，總成交量1.24億手。2025年來上漲5.45%。
彤程新材：近7個交易日，彤程新材上漲9.27%，最高價為33.58元，總市值上漲了20.55億元，2025年來上漲5.54%。
奧普光電：近7個交易日，奧普光電上漲9.2%，最高價為37.29元，總市值上漲了9.07億元，2025年來上漲8.16%。
旭光電子：旭光電子近7個交易日，期間整體上漲7.9%，最高價為7.1元，最低價為7.72元，總成交量1.06億手。2025年來上漲6.48%。
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