中小板光刻機板塊股票有凱美特氣、東方中科、百川股份、永太科技、大族激光、北方華創、紫光國微、智光電氣、華亞智能、西隴科學等22家。根據概念查詢工具股票工具數據整理，在市值上，截至1月27日，中小板光刻機板塊股票市值排名情況如下：
NO.1、北方華創：2009.87億元
公司從事電子產品的研發、生產、銷售和技術服務。
NO.2、紫光國微：502.3億元
公司主營業務為集成電路芯片設計與銷售。
NO.3、雅克科技：284.6億元
公司從事主要從事磷酸酯阻燃劑和其他橡塑助劑的研發、生產和銷售。
NO.4、大族激光：269.68億元
公司從事激光加工及自動化系統集成設備制造。
NO.5、中瓷電子：221.92億元
公司業務有電子陶瓷系列產品研發、生產和銷售。
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