據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機概念龍頭股有：
藍英裝備300293：
國產光刻機龍頭股。2月14日，藍英裝備(300293)開盤報23.2元，截至15點收盤，該股跌0.73%，報23.050元，3日內股價下跌3.93%，總市值為78.01億元。
11月19日該股主力凈流入1342.84萬元，超大單凈流入1681.77萬元，大單凈流出338.93萬元，中單凈流出805.3萬元，散戶凈流出537.54萬元。
同飛股份300990：
國產光刻機龍頭股。2月14日收盤消息，同飛股份今年來漲幅上漲11.75%，最新報46.740元，成交額2.59億元。
7月31日消息，同飛股份資金凈流出176.34萬元，超大單資金凈流出101.89萬元，換手率7.05%，成交金額2.59億元。
蘇大維格300331：
國產光刻機龍頭股。2月13日盤后最新消息，收盤報：20.700元，成交金額：9926.65萬元，主力資金凈流入：654.03萬元，占比3.27%。換手率2.38%。
11月19日消息，蘇大維格11月19日主力凈流入654.03萬元，超大單凈流出414.37萬元，大單凈流入1068.4萬元，散戶凈流出229.2萬元。
張江高科600895：
國產光刻機龍頭股。截至發稿，張江高科（600895）跌0.78%，報26.270元，成交額4.84億元，換手率1.19%，振幅跌1.24%。
資金流向數據方面，7月5日主力資金凈流流出2156.7萬元，超大單資金凈流出2447.83萬元，大單資金凈流入291.13萬元，散戶資金凈流入2957.92萬元。
國產光刻機概念股其他的還有：
南大光電：在近5個交易日中，南大光電有4天下跌，期間整體下跌3.75%。和5個交易日前相比，南大光電的市值下跌了8.06億元，下跌了3.75%。
賽微電子：近5個交易日，賽微電子期間整體下跌1.46%，最高價為18.35元，最低價為17.6元，總市值下跌了1.9億。
彤程新材：近5個交易日股價上漲0.68%，最高價為37.27元，總市值上漲了1.44億，當前市值為210.16億元。
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